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荷兰顶尖的光刻设备制造商阿斯麦尔公司的EXE:5200 EUV光刻机,属于高数值孔径量产型,其市场估价高达3.4亿美元。
全球芯片制造巨头英特尔近期宣布,已预先订购了ASML正在研发的一款顶级EUV光刻机,此举开创了业界先河。该款预订单设备正是那台备受瞩目的高数值孔径量产型EUV光刻机EXE:5200,其技术实力被公认为业内最为领先。
了解到,当前在全球半导体晶圆制造领域中,台积电、三星及英特尔三巨头之间的激烈竞争加剧了对EUV光刻机的庞大需求。值得一提的是,这款定位服务于未来3nm/2nm先进制程工艺的高数值孔径量产型EUV光刻机,其高昂的价格令人咋舌。
据台湾媒体报道指出,英特尔预订的这款尖端光刻机售价高达3.4亿美元,创下了有史以来光刻机价格的新纪录。
全球范围内,具备光刻机生产能力的企业仅有四家,并不存在所谓的十大光刻机制造商。在这四大企业中,来自荷兰的阿斯麦尔公司尤为突出,其不仅能生产先进的EUV极紫外光光源光刻机,还能制造DUV光刻机。日本的尼康和佳能两家公司则专注于DUV光刻机的制造。而中国的上海微电子也同样涉足DUV光刻机的生产领域。
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